La palabra epitaxia proviene del griego «epi», que significa «sobre...». De este origen, podemos comprender fácilmente la expresión común «GaN sobre Si», que representa la estructura del nitruro de galio sobre un sustrato de silicio. En el proceso de preparación de materiales semiconductores, la preparación de obleas es un paso fundamental, que consta principalmente de dos pasos clave: la preparación del sustrato y el proceso de epitaxia.
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2025-12-08